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简体中文 양압 및 음압 차동 구현 드라이 클린룸 공기 흐름의 교차 오염을 방지하고 클린룸 내 다양한 구역의 청결을 유지하기 위한 기본 전략입니다. 양압과 음압을 설정하고 활용하는 방법은 다음과 같습니다.
1. 양압 구역:
- 양압 구역은 공기 압력이 인접하고 덜 깨끗한 구역(예: 주변 환경 또는 클린룸 내 덜 중요한 구역)에 비해 더 높은 수준으로 유지되는 클린룸 내의 구역입니다.
- 양압 구역을 설정하려면:
- 배기량보다 높은 유량으로 깨끗하고 여과된 공기를 공급합니다. 이를 통해 깨끗한 공기가 해당 구역으로 지속적으로 유입됩니다.
- HEPA(고효율 미립자 공기) 또는 ULPA(초저침투 공기) 필터를 사용하여 공급되는 공기에 오염 물질이 없는지 확인하십시오.
- 클린룸은 외부로부터 오염물질이 침투하는 것을 방지하기 위해 누출을 최소화하고 조인트를 밀봉한 밀폐 구조로 되어 있는지 확인하십시오.
2. 음압 구역:
- 음압 구역은 인접한 청정 구역에 비해 기압이 낮은 수준으로 유지되는 클린룸 내의 구역입니다. 음압 구역은 일반적으로 오염 물질의 확산을 방지하고 봉쇄하는 데 사용됩니다.
- 음압 구역을 설정하려면:
- 약간의 진공 효과를 만들기 위해 구역에서 공기의 일부를 배출합니다.
- 배출 전에 오염 물질을 제거하기 위해 배기 공기를 필터링하는지 확인하십시오.
- 오염물질이 빠져나가는 위험을 최소화하기 위해 양압 구역과 음압 구역 사이에 에어록이나 대기실을 사용하십시오.
구현 및 활용:
양압 및 음압 구역의 사용은 공기가 자연적으로 고압 영역에서 저압 영역으로 흐른다는 원리에 기초합니다. 이것이 적용되는 방법은 다음과 같습니다.
- 오염 물질 제어: 오염 제어가 중요한 응용 분야(예: 제약 제조 또는 반도체 제조)에서 가장 중요한 공정은 일반적으로 외부 오염 물질이 유입되는 것을 방지하기 위해 양압 구역에서 수행됩니다. 오염되거나 위험한 공정은 오염물질이 빠져나가는 것을 방지하기 위해 음압 구역에서 수행됩니다.
- 격리: 깨끗한 구역에서는 양압을 유지하고 오염되거나 위험한 구역에서는 음압을 유지함으로써 클린룸 직원은 오염 물질을 유입시키지 않고 더 깨끗한 구역에서 덜 깨끗한 구역으로 이동할 수 있습니다. 압력 차이는 공기 흐름에 대한 장벽 역할을 하여 입자와 오염 물질의 확산을 방지합니다.
- 에어록 및 가운 구역: 에어록 또는 가운 구역은 서로 다른 압력 구역 사이의 전환 구역으로 사용됩니다. 이는 직원이 적절한 클린룸 복장으로 갈아입고 클린룸에 들어가기 전에 입자를 제거하기 위해 에어 샤워를 받을 수 있는 완충 구역 역할을 합니다. 에어록은 직원 출입 시 압력 차이를 유지하고 오염을 제어하는 데 도움이 됩니다.
양압 및 음압 구역을 설정하고 주의 깊게 유지함으로써 건식 클린룸은 공기 흐름을 효과적으로 제어하고 교차 오염을 방지하여 중요한 공정의 무결성을 보장하고 필요한 청결도 수준을 유지할 수 있습니다. 이러한 차압을 성공적으로 구현하려면 적절한 설계, 구성 및 모니터링이 필수적입니다.
